Магнетронные распылительные устройства (магратроны). Обзор по данным отечественной и зарубежной печати за 1973-1979 гг
В.Е.Минайчев, В.В.Одиноков, Г.П.Тюфаева.
Аннотация издательства: Рассмотрены физические основы действия и конструктивные схемы магнетронных распылительных устройств (магратронов). Приведены основные сведения о технологических возможностях магратронов по нанесению тонких пленок. Описаны типичные конструкции установок для нанесения топких пленок с использованием магратронов. Использовано 87 отечественных и зарубежных источников (журнальные статьи, книги, патенты и др.) в основном за 1973-1979 гг. Обзор предназначен для специалистов, занимающихся как конструированием технологического оборудования, так и изготовлением ИС и полупроводниковых приборов, может служить учебным пособием для студентов вузов по специальности «Полупроводниковое машиностроение».
Godina:
1979
Izdavač:
ЦНИИ «Электроника»
Jezik:
russian
Strane:
29
Serije:
Обзоры по электронной технике. Серия 7 Технология, организация производства и оборудование. Выпуск 8(659
Fajl:
DJVU, 719 KB
IPFS:
,
russian, 1979