Применение мощного ионного пучка для перемешивания титановой пленки с алюминиевой подложкой

Литературный перевод. The high power pulsed ion beam mixing of a titanium layer with an aluminum substrate. Elseiver. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 149 (1999) 61-66
В настоящей статье описано применение МДП, такого как ионный пучок, для перемешивания Ti пленки/Al подложки. Один слой титана, толщиной 500нм, осаждался на образцы из алюминия 6061-T6 и затем облучался ионным пучком. Энергия ионного пучка лежала в диапазоне 200-250 кэВ, длительность импульса - 100 нс и плотность ионного тока лежала в диапазоне 10-150 А/см2 . Характеристики обработанных образцов изучались с применением СЭМ, EDAX и Оже-спектроскопии. Было выполнено математическое моделирование фазовых переходов в данной системе, для оценки плотности ионного тока, необходимого для эффективного плавления и перемешивания пленки и подложки. Согласно Оже-анализам, значительное перемешивание Ti пленки и Al подложки происходит на глубине 1,3 мкм. Исследования на коррозионную стойкость, показали повышение коррозионной стойкости смешанного слоя, в сравнении с необработанными пленками.